AFSEM - correlative AFM and SEM

from GETec

The AFSEM system enables you to combine the possibilities of your SEM with the capabilities of an atomic force microscopy (AFM). The AFSEM is compatible with most SEM and FIB/SEM systems on the market and can easily added to your system. Due to the unique design of the AFSEM™ system it will not interfere with other methods of your system (e.g. FIB, FEBID, EDX) but will add information regarding the structure of your sample.

Features
Abmessungen 41 x 110 x 77 mm³ (H x L x B)
Gewicht 500 g
Scan-Bereich 35 x 35 µm² Closed-loop für xy; 5 µm für z
HV-Kompatibilität 1 x 10-6 mbar
Scan Mode AC & Contact Mode

The AFSEM will come with ac-mode as well as contact mode as standard and you can also use it for phase contrast or force spectroscopy measurements. You even can add new functionalities by using special cantilevers e.g. conductive measurements.
The AFSEM is easy of use and offers maximum flexibility. The independent 3-axis travel stage will move the cantilever into your SEM field of view and you will sue the SEM sample stage to position your sample to measure your region of interest.

In-situ AFM-Analyse

Die Kombination des AFSEM mit einem REM ermöglicht es, die Probe gleichzeitig mit hoher Auflösung zu charakterisieren und 3D-Profile zu erstellen; außerdem liefert es exakte Höheninformationen. Das große Betrachtungsfeld des REM wird verwendet um die Tastspitze des AFM genau dort zu platzieren, wo gemessen werden soll.

Korrelative REM-/AFM- Analyse

Das AFSEM erlaubt die schnelle und einfache Untersuchung derselben Probenposition (Region of Interest oder RoI). Da das AFSEM in ein REM integriert ist, misst es die Probe unter den gleichen Voraussetzungen. Das REM wiederum positioniert das AFSEM genau dort, wo gemessen werden soll. So erhält man verlässliche und aussagekräftige Informationen über die zu vermessende Probe.

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